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四氟化碳 ，Carbon Tetrafluoride, CF4

CAS NO  75-73-0
UN NO  1982
EINECS NO  200-896-5
Molecular weight  88
Appearance  Colorless, Odorless
Melting point  -184 ℃
Boiling point  -128.1 ℃
Density  3.72 kg/m³
DOT Class  2.2
Label  Non-flammable Gas
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分类：

描述

四氟化碳，又名四氟甲烷，化学式为CF4，它既可以被视为一种卤代烃（有机物），也可以被视为一种无机化合物，常温常压下为无色气体，不溶于水，溶于苯和氯仿，主要用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体、低温制冷剂、溶剂、润滑剂、绝缘材料、红外检波管的冷却剂。

产品应用

它是最常用在微电子工业等离子体蚀刻气体。

四氟化碳高纯气体和四氟化碳高纯气体的混合物和高纯氧可广泛用于蚀刻硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃和钨薄膜材料。

也广泛应用于电子设备的表面清洗、太阳能电池生产、激光技术、低温制冷、泄漏检查,除污剂在印刷电路板生产。

气体纯度

Specification99.999%
Oxygen + Argon≤ 1 ppm
Nitrogen≤ 2 ppm
Hydrogen≤ 0.3 ppm
Carbon Monoxide≤ 0.3 ppm
Carbon Dioxide≤ 0.3 ppm
Sulfur Hexafluoride≤ 0.3 ppm
THC≤ 0.3 ppm
Trifluoromethane≤ 0.3 ppm
OFC≤ 1 ppm
Moisture≤ 1 ppm
Acidity as HF≤ 0.1 ppm
若有其他纯度或等级要求请联系我们

包装信息

Cylinder CapacityValveWeight
47LCGA58030kgs
若有其他需求请联系我们

欢迎参观

售后服务&物流服务

本公司配备有各类产品的专业危化运输车辆，拥有一支作风优良、技术过碩、作业规范的物流队伍，构建了完善的国内外物流配送体系，可以充分满足客户安全及时的配送需求。
多年来公司坚持以信息化的手段推进物流管理，对车辆及供气设施进行24小时全程监控，运输服务人客户订单-运送分配-在途管理-到达现场均能在线监管，给予客户最优质的运输服务。

一、售后服务

1、遵守合同约定,保证产品质量及技术要求顺利履行。
2、确保交付至客户手中的产品三证齐全:合格证 COA MSDS。
3、若交付的产品有任何的质量问题我们无条件退换货。

二、物流服务

1、国内专业运输物流服务自有危险化学品专用运输车队与十多家大型专业危险化学品物流公司长期合作，服务路线遍至全国，保证送货上门，承诺服务到家。
2、国际专业运输物流服务产品出口证件齐全，与多家危险化学学品国际物流公司合作，提供多种运输方式:国际海运、国际铁路、国际道路运输等。承诺服务务到港，满足全球客户需求。

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