激光混合气-Laser mixture gas

气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。

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气体激光器的重要特点之一,激光工作物质是混合气或单一纯气体因此,对激光混合气组分的纯度有着特殊要求,包装混合气的钢瓶,充装前也必须进行干燥处理,防止污染混合气。如果将氦(He)氖(Ne)激光作为第一代气体激光,二氧化碳激光是第二代气体激光,在半导体制造领域将大量使用的氟化氪(KrF)激光,可称为第三代激光。

常见的激光混合物组成和主要用途:

类别混合气组成/(10-2)用途
H2NeArN2CO2KrFXeCOHCl平衡气
氦氖激光混合气2-8.3He用于工业生产,科学研究和国防建设等领域
CO2激光混合气0.413.513.08.06.016.08-124.57.08.08.016.06-82.04.02.04.0主要用于激光加工,如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔以及医疗上的激光外科等
氪氟激光混合气5.010.01-0.2用于保护膜导光以及化学反应等领域。贮存器制造中的石板印刷已开始使用氟化氪激光
密封束激光气18.532.5作研究用的密封束激光气
准分子激光气25.89.80.004150.25.0ArHeHeAr准分子激光器用于医疗上的外科手术

产品应用

China Southern Power Grid Company Limited

用于工业生产,科学研究和国防建设等领域

准分子激光用于医疗手术

用于激光加工,如金属、陶瓷的切割、焊接与钻孔

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