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三氟化氮，Nitrogen Trifluoride, NF3

CAS No.  7783-54-2
UN No.  2451
EINECS No.  232-007-1
Molecular weight  71.0019
Appearance  colourless, odourless
Melting point  -206.79℃
Boiling point  -129.0℃
Density  2.96kg/m3
DOT Class  2.2 & 5.1
Label  Non-flammable Gas, Oxidizing Agent
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描述

三氟化氮是用作氟化氢-氟化气高能化学激光器的氟源，在h2-O2 与F2之间反应能的有效部分(约25%)可以以激光辐射释放出，所HF-OF激光器是化学激光器中最有希望的激光器。三氟化氮是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，对硅和氮化硅蚀刻，采用三氟化氮比四氟化碳和四氟化碳与氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性，而且对表面无污染，尤其是在厚度小于1.5um的集成电路材料的蚀刻中，三氟化氮具有非常优异的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物，同时也是非常良好的清洗剂。

产品应用

用于氟化氢和氟化氘激光,这是化学激光的一种。

良的等离子蚀刻气体。

气体纯度

Specification99.99%
Carbon Tetrafluoride≤40 ppm
Nitrogen≤10 ppm
Oxygen+Argon≤5 ppm
Carbon Monoxide≤1 ppm
Carbon Dioxide≤3 ppm
Nitrous Oxide≤3 ppm
Sulfur Hexafluoride≤3 ppm
Moisture≤1 ppm
Express as HF≤1 ppm
若有其他纯度或等级要求请联系我们
Specification99.996%
Carbon Tetrafluoride≤20 ppm
Nitrogen≤5 ppm
Oxygen+Argon≤3 ppm
Carbon Monoxide≤1 ppm
Carbon Dioxide≤0.5 ppm
Nitrous Oxide≤1 ppm
Sulfur Hexafluoride≤2 ppm
Moisture≤1 ppm
Express as HF≤1 ppm
若有其他纯度或等级要求请联系我们

包装信息

Cylinder CapacityValveWeight
10LDISS6404 kgs
47LDISS64020 kgs
440LDISS640195 kgs
若有其他需求请联系我们

欢迎参观

售后服务&物流服务

本公司配备有各类产品的专业危化运输车辆，拥有一支作风优良、技术过碩、作业规范的物流队伍，构建了完善的国内外物流配送体系，可以充分满足客户安全及时的配送需求。
多年来公司坚持以信息化的手段推进物流管理，对车辆及供气设施进行24小时全程监控，运输服务人客户订单-运送分配-在途管理-到达现场均能在线监管，给予客户最优质的运输服务。

一、售后服务

1、遵守合同约定,保证产品质量及技术要求顺利履行。
2、确保交付至客户手中的产品三证齐全:合格证 COA MSDS。
3、若交付的产品有任何的质量问题我们无条件退换货。

二、物流服务

1、国内专业运输物流服务自有危险化学品专用运输车队与十多家大型专业危险化学品物流公司长期合作，服务路线遍至全国，保证送货上门，承诺服务到家。
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