硅烷气体Silane, SiH4

CAS NO  7803-62-5
UN NO  2203
EINECS NO  232-263-4
Molecular weight  32.117
Appearance  Colorless, Garlic Smell
Melting point  -185 ℃
Boiling point  -112 ℃
Density  1.34 kg/m³
DOT Class  2.1
Label  Flammable Gas
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分类:

描述

硅烷作为一种提供硅组分的气体源,可用于制造高纯度多晶硅、单晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、异质硅、各种金属硅化物。 因其高纯度和能实现精细控制,已成为许多其他硅源无法取代的重要特种气体。硅烷广泛应用于微电子、光电子工业, 用于制造太阳电池、平板显示器、玻璃和钢铁镀层, 并且是迄今世界上唯一的大规模生产粒状高纯度硅的中间产物。硅烷的高科技应用还在不断出现, 包括用于制造先进陶瓷、复合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成为许多新技术、新材料、新器件的基础。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著称。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量,决定了它是一种高危险性的气体。

产品应用

用于制造太阳电池

用于集成电路制造

制造平板显示器、玻璃和钢铁镀层

气体纯度

Specification99.9999%
Carbon Monoxide≤ 0.05 ppm
Carbon Dioxide≤ 0.05 ppm
Total chloride≤ 0.1 ppm
Methane≤ 0.05 ppm
C2-C4≤ 0.1 ppm
Nitrogen≤ 0.5 ppm
Oxygen≤ 0.05 ppm
Moisture≤ 0.1 ppm
Silyl Ether≤ 0.1 ppm
Methyl Silane≤ 0.1 ppm
Disilane≤ 0.3 ppm
Hydrogen≤ 20 ppm
Aluminum≤ 0.02 ppba
Antimony≤ 0.02 ppba
Arsenic≤ 0.02 ppba
Gallium≤ 0.02 ppba
Boron≤ 0.02 ppba
Phosphorus≤ 0.02 ppba
Iron + Chromium + Nickel + Copper + Zinc≤ 1 ppba
若有其他纯度或等级要求请联系我们

包装信息

Cylinder CapacityValveWeight
47LDISS63210 kgs
440LDISS632120 kgs
若有其他需求请联系我们

欢迎参观

售后服务&物流服务

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