三氟甲烷,Trifluoromethane, CHF3

CAS NO  75-46-7
UN NO  1984
EINECS NO  200-872-4
Molecular weight  70.01
Appearance  Colorless, odorless
Melting point  -160 ℃
Boiling point  -84℃
Density  1.246
DOT Class  2.2
Label  Non-flammable Gas

 

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描述

三氟甲烷,是一种有机化合物,化学式为CHF3,常温常压下为无色气体,溶于水、乙醇、丙酮,主要用作低温致冷剂、灭火剂和制造四氟乙烯的原料。

产品应用

在电子产业中,三氟甲烷可用作等离子体化学蚀刻剂,在二氧化硅膜刻蚀方面具有速度快、选择性优等特点。

主要用作低温致冷剂、灭火剂和制造四氟乙烯的原料。

气体纯度

Specification99.9%
Moisture≤ 2 ppm
Acidity (as HF)≤0.1 mg/kg
Reside on evaporation≤0.01 %
Foul gas in air phase≤0.1 %
Carbon Dichloride≤30 ppm
若有其他纯度或等级要求请联系我们
Specification99.999%
Moisture≤10 ppm
Acidity (as HF)≤0.1 ppm
Nitrogen≤4 ppm
Oxygen≤1 ppm
Carbon Monoxide≤0.5 ppm
Carbon Dioxide≤0.5 ppm
Methane≤0.5 ppm
Other Organics≤ 1ppm
若有其他纯度或等级要求请联系我们

包装信息

Cylinder CapacityValveWeight
40LXF-430 kgs
若有其他需求请联系我们

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售后服务&物流服务

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